ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-11132007-194910

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-11132007-194910

Titolo

Progetto e tecnologia di fabbricazione di un dispositivo MEMS magnetico per "energy scavenging"

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

energy harvesting
magnete permanente
post-processing
scavenger
trasduzione magnetica

Data inizio appello

14/12/2007

Consultabilità

Completa

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Questo lavoro rigurda il progetto di un dispositivo MEMS magnetico in grado di recuperare l'energia dalle vibrazioni presenti nell'ambiente circostante.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.

File

Nome file	Dimensione
01_Frontespizio.pdf	73.25 Kb
02_Indice.pdf	36.55 Kb
03_Introduzione.pdf	117.99 Kb
04_Capitolo1.pdf	777.42 Kb
05_Capitolo2.pdf	673.13 Kb
06_Capitolo3.pdf	83.05 Mb
07_Conclusioni.pdf	64.00 Kb
08_Bibliografia.pdf	71.21 Kb
Contatta l’autore