Tesi etd-11132007-194910 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
RUSSINO, VINCENZO
URN
etd-11132007-194910
Titolo
Progetto e tecnologia di fabbricazione di un dispositivo MEMS magnetico per "energy scavenging"
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
Relatore Nannini, Andrea
Relatore Pieri, Francesco
Relatore Pieri, Francesco
Parole chiave
- energy harvesting
- magnete permanente
- post-processing
- scavenger
- trasduzione magnetica
Data inizio appello
14/12/2007
Consultabilità
Completa
Riassunto
Questo lavoro rigurda il progetto di un dispositivo MEMS magnetico in grado di recuperare l'energia dalle vibrazioni presenti nell'ambiente circostante.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| 01_Frontespizio.pdf | 73.25 Kb |
| 02_Indice.pdf | 36.55 Kb |
| 03_Introduzione.pdf | 117.99 Kb |
| 04_Capitolo1.pdf | 777.42 Kb |
| 05_Capitolo2.pdf | 673.13 Kb |
| 06_Capitolo3.pdf | 83.05 Mb |
| 07_Conclusioni.pdf | 64.00 Kb |
| 08_Bibliografia.pdf | 71.21 Kb |
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