ETD

• advanced bonding processes
• electrostatic discharge event
• esd
• esd detection
• near field
• near-field probes

L'obiettivo di questa tesi è rilevare gli eventi ESD (Electrostatic Discharge) utilizzando rilevatori a distanza in grado di catturare il campo emesso dalla corrente di scarica. Lo studio mira a rilevare la forma d'onda emessa e ad analizzarne le caratteristiche utilizzando sonde per la misura in campo vicino, che forniscono un metodo non invasivo per il rilevamento di eventi ESD.
In questa tesi è stato esplorato lo stato dell'arte riguardante i rischi legati agli eventi ESD durante i processi di 'bonding', il rilevamento di tali eventi a distanza e le tecniche di misura in campo vicino. Sono state approfondite la progettazione e la simulazione di sonde ottimizzate in termini di sensibilità e risoluzione. Le sonde sono state realizzate, caratterizzate e inserite in un contesto di laboratorio per rilevare veri eventi ESD. E' stata condotta un'analisi statistica sui campi emessi da tali eventi per analizzarne il comportamento. Infine, sono stati discussi possibili lavori futuri e implementazioni dell' esperimento.