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ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-10082003-102915


Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore
Zurlo, Henri
Indirizzo email
henzu@libero.it
URN
etd-10082003-102915
Titolo
CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Nannini, Andrea
Parole chiave
  • macropori
  • radiofrequenza
  • silicio
Data inizio appello
23/10/2003
Consultabilità
Completa
Riassunto
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
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