ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-10082003-102915

Tipo di tesi

Tesi di laurea vecchio ordinamento

URN

etd-10082003-102915

Titolo

CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

macropori
radiofrequenza
silicio

Data inizio appello

23/10/2003

Consultabilità

Completa

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).

File

Nome file	Dimensione
01cap.pdf	502.47 Kb
02cap.pdf	434.30 Kb
03cap.pdf	653.88 Kb
04cap.pdf	3.51 Mb
05cap.pdf	2.48 Mb
06cap.pdf	1.52 Mb
Conclusioni.pdf	75.82 Kb
indice.pdf	58.75 Kb
Introduzione.pdf	80.23 Kb
riferimenti.pdf	114.82 Kb
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