ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-10022006-101457

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-10022006-101457

Titolo

Caratterizzazione di microspecchi elettrostatici per commutazione ottica

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

MEMS
microspecchi
seconda armonica
switches

Data inizio appello

19/10/2006

Consultabilità

Completa

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Oggetto della presente tesi di laurea è la caratterizzazione tramite misure elettriche ed ottiche di un microspecchio torsionale (per commutazione ottica) con struttura a veneziana ad attuazione elettrostatica, da noi progettato in precedenza. Si è ideata e realizzata l'opportuna circuitistica per il pilotaggio e per il prelievo del segnale di uscita e si sono dicussi i risultati.

File

Nome file	Dimensione
001Indice.pdf	22.36 Kb
002Introduzione.pdf	35.58 Kb
01Cap1.pdf	1.02 Mb
02Cap2.pdf	1.03 Mb
03Cap3.pdf	473.64 Kb
04Conclusioni.pdf	37.73 Kb
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