Tesi etd-09152006-095236 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
URN
etd-09152006-095236
Titolo
Un modello per il micromachining elettrochimico del silicio: teoria e dati sperimentali.
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
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Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Ing. Pieri, Francesco
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Ing. Pieri, Francesco
Parole chiave
- DRIE
- macropori
- micromachining
- poroso
- silicio
Data inizio appello
19/10/2006
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
19/10/2046
Riassunto (Inglese)
Riassunto (Italiano)
Un confronto fra DRIE e micromachining elettrochimico mette in evidenza i motivi del crescente interesse verso quest'ultimo. Viene proposto un modello matematico e la sua implementazione in MatLab per la crescita di macropori su silicio n in presenza di un flusso laterale di perdita di HF. Un fitting con i dati sperimentali mette in evidenza pregi e limiti del modello elaborato.
File
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La tesi non è consultabile. |
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