ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-09152006-095236

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-09152006-095236

Titolo

Un modello per il micromachining elettrochimico del silicio: teoria e dati sperimentali.

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

DRIE
macropori
micromachining
poroso
silicio

Data inizio appello

19/10/2006

Consultabilità

Non consultabile

Data di rilascio

19/10/2046

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Un confronto fra DRIE e micromachining elettrochimico mette in evidenza i motivi del crescente interesse verso quest'ultimo. Viene proposto un modello matematico e la sua implementazione in MatLab per la crescita di macropori su silicio n in presenza di un flusso laterale di perdita di HF. Un fitting con i dati sperimentali mette in evidenza pregi e limiti del modello elaborato.

File

Nome file	Dimensione
La tesi non è consultabile. Contatta l’autore