Tesi etd-09152006-095236 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
Parisi, Mauro
URN
etd-09152006-095236
Titolo
Un modello per il micromachining elettrochimico del silicio: teoria e dati sperimentali.
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Ing. Pieri, Francesco
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Ing. Pieri, Francesco
Parole chiave
- DRIE
- macropori
- micromachining
- poroso
- silicio
Data inizio appello
19/10/2006
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
19/10/2046
Riassunto
Un confronto fra DRIE e micromachining elettrochimico mette in evidenza i motivi del crescente interesse verso quest'ultimo. Viene proposto un modello matematico e la sua implementazione in MatLab per la crescita di macropori su silicio n in presenza di un flusso laterale di perdita di HF. Un fitting con i dati sperimentali mette in evidenza pregi e limiti del modello elaborato.
File
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