Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Titolo
Realizzazione di un sensore di portata e di pressione su singolo chip
Dipartimento
INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Parole chiave
- BCD6s
- flussimetri
- MEMS
- offset
- post-processing
Data inizio appello
27/09/2013
Riassunto (Italiano)
In questo lavoro di tesi viene presentato un sensore di flusso “intelligente”: insieme alla strutture di sensing, costituite da sensori di flusso termici differenziali a doppio riscaldatore con due sonde di temperatura, una a monte e una a valle, è integrata sullo stesso chip un’interfaccia elettronica che realizza, contemporaneamente, la compensazione degli effetti sia dell’offset che della pressione,la cui efficacia è stata, poi, verificata ponendo il dispositivo in condizioni operative reali;in particolare, le misure sono state effettuate per flussi di azoto a temperatura ambiente.
