ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-09082015-100328

Tipo di tesi

Tesi di laurea magistrale

URN

etd-09082015-100328

Titolo

Dispositivi per la generazione termoelettrica a nanofili verticali di silicio

Dipartimento

INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

analisi FEM.
elettrodeposizione
fabbricazione dispositivi
nanostrutture
Termoelettricità

Data inizio appello

25/09/2015

Consultabilità

Completa

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

La tesi è stata incentrata sullo studio di un processo di fabbricazione per la realizzazione di un generatore termoelettrico a nanofili di silicio. La fase sperimentale è stata suddivisa tra lo sviluppo di un attacco chimico del silicio per la realizzazione dei nanofili e lo studio dell'elettrodeposizione del rame per la generazione dei contatti. A supporto dei dati sperimentali sono state eseguite delle analisi FEM meccaniche e termiche.

File

Nome file	Dimensione
Tesi_E.Dimaggio.pdf	32.80 Mb
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