Tesi etd-09082015-100328 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea magistrale
Autore
DIMAGGIO, ELISABETTA
URN
etd-09082015-100328
Titolo
Dispositivi per la generazione termoelettrica a nanofili verticali di silicio
Dipartimento
INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Prof. Pennelli, Giovanni
Parole chiave
- analisi FEM.
- elettrodeposizione
- fabbricazione dispositivi
- nanostrutture
- Termoelettricità
Data inizio appello
25/09/2015
Consultabilità
Completa
Riassunto
La tesi è stata incentrata sullo studio di un processo di fabbricazione per la realizzazione di un generatore termoelettrico a nanofili di silicio. La fase sperimentale è stata suddivisa tra lo sviluppo di un attacco chimico del silicio per la realizzazione dei nanofili e lo studio dell'elettrodeposizione del rame per la generazione dei contatti. A supporto dei dati sperimentali sono state eseguite delle analisi FEM meccaniche e termiche.
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| Tesi_E.Dimaggio.pdf | 32.80 Mb |
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