Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Titolo
Fabbricazione e caratterizzazione di un sensore di gas integrato
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Parole chiave
- gas
- sensore
- silicio poroso
Data inizio appello
12/07/2005
Data di rilascio
12/07/2045
Riassunto (Italiano)
In questo lavoro di tesi è stato fabbricato e caratterizzato un sensore di gas di silicio poroso.
Il sensore è costituito da pad interdigitati di alluminio che vengono deposti su uno strato di silicio di tipo p, ottenuto per impiantazione su un substrato di tipo n. Lo strato di silicio poroso si forma nella zona tra i due pad di uno stesso dispositivo, in seguito ad attacco elettrochimico in HF.
Per quanto riguarda la caratterizzazione, sono state valutate le risposte I-V e I-t del sensore in presenza di vapori organici di diversi alcoli e sono state riscontrate ottime prestazioni in termini di sensibilità e sopratutto per quanto riguarda i tempi di risposta.
Infine, sulla base delle numerose prove effettuate, è stato illustrato anche il possibile principio di funzionamento del sensore.
