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Archivio digitale delle tesi discusse presso l'Università di Pisa

Tesi etd-06222009-113543


Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
CAPONIGRI, IRENE
Indirizzo email
irenecaponigri@libero.it
URN
etd-06222009-113543
Titolo
Silanizzazione selettiva mediante litografia UV di Silicio-Germanio policristallino per lo sviluppo di biosensori MEMS
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
Relatore Prof. Nannini, Andrea
Relatore Prof. Pieri, Francesco
Relatore Dott. Lenci, Silvia
Parole chiave
  • silanizzazione
  • funzionalizzazione
  • silani
  • Silicio-Germanio policristallino
  • biosensori
  • BioMEMS
  • MEMS
Data inizio appello
10/07/2009
Consultabilità
Parziale
Data di rilascio
10/07/2049
Riassunto
Questo lavoro di tesi si occupa dello studio sulla possibilità di realizzare biosensori per applicazioni MEMS. Esso si occupa dello studio del comportamento del silicio-germanio policristallino nei confronti della silanizzazione e della messa a punto di un processo per l'immobilizzazione selettiva di biomolecole.
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