ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-06222009-113543

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-06222009-113543

Titolo

Silanizzazione selettiva mediante litografia UV di Silicio-Germanio policristallino per lo sviluppo di biosensori MEMS

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

BioMEMS
biosensori
funzionalizzazione
MEMS
silani
silanizzazione
Silicio-Germanio policristallino

Data inizio appello

10/07/2009

Consultabilità

Parziale

Data di rilascio

10/07/2049

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Questo lavoro di tesi si occupa dello studio sulla possibilità di realizzare biosensori per applicazioni MEMS. Esso si occupa dello studio del comportamento del silicio-germanio policristallino nei confronti della silanizzazione e della messa a punto di un processo per l'immobilizzazione selettiva di biomolecole.

File

Nome file	Dimensione
Bibliografia.pdf	77.47 Kb
Capitolo1.pdf	723.64 Kb
Conclusioni.pdf	31.53 Kb
ElencoFigure.pdf	55.76 Kb
Indice.pdf	43.37 Kb
Introduzione.pdf	42.31 Kb
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