Tesi etd-06222006-121510 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
Lenci, Silvia
Indirizzo email
silvia_lenci@libero.it
URN
etd-06222006-121510
Titolo
Analisi piezoresistiva di microrisonatori torsionali in silicio-germanio
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Ing. Pieri, Francesco
relatore Prof. Nannini, Andrea
relatore Prof. Nannini, Andrea
Parole chiave
- MEMS
- microrisonatori
- piezoresistività
- sensori
- SiGe
- silicio-germanio
Data inizio appello
12/07/2006
Consultabilità
Completa
Riassunto
Valutazione della posizione di microrisonatori torsionali in silicio-germanio, con misure di tipo piezoresistivo
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| 01indice...zione.pdf | 88.95 Kb |
| 02capitolo1.pdf | 232.88 Kb |
| 03capitolo2.pdf | 649.77 Kb |
| 04capitolo3.pdf | 415.54 Kb |
| 05capitolo4.pdf | 228.18 Kb |
| 06capitolo5.pdf | 215.79 Kb |
| 07capitolo6.pdf | 275.94 Kb |
| 08conclusioni.pdf | 12.12 Kb |
| 09appendiceA.pdf | 60.91 Kb |
| 10appendiceB.pdf | 42.29 Kb |
| 11appendiceC.pdf | 43.85 Kb |
| 12appendiceD.pdf | 75.21 Kb |
| 13appendiceE.pdf | 142.32 Kb |
| 14appendiceF.pdf | 30.79 Kb |
| 15Bibliografia.pdf | 19.53 Kb |
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