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ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-06222006-121510


Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
URN
etd-06222006-121510
Titolo
Analisi piezoresistiva di microrisonatori torsionali in silicio-germanio
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Parole chiave
  • MEMS
  • microrisonatori
  • piezoresistività
  • sensori
  • SiGe
  • silicio-germanio
Data inizio appello
12/07/2006
Consultabilità
Completa
Riassunto (Inglese)
Riassunto (Italiano)
Valutazione della posizione di microrisonatori torsionali in silicio-germanio, con misure di tipo piezoresistivo
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