Tesi etd-06192008-214554 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
URN
etd-06192008-214554
Titolo
Surface micromachining del silicio mediante attacco elettrochimico
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
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Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Parole chiave
- MEMS
- micromachining
- millipede
- Si/HF
- silicon electropolishing
Data inizio appello
11/07/2008
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
11/07/2048
Riassunto (Inglese)
Riassunto (Italiano)
Lo scopo di questo progetto è di verificare speriementalmente la selettività della dissoluzione anodica del silicio in soluzioni acide a base di HF.
File
| Nome file | Dimensione |
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La tesi non è consultabile. |
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