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ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-06192008-214554

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Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
URN
etd-06192008-214554
Titolo
Surface micromachining del silicio mediante attacco elettrochimico
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Parole chiave
  • MEMS
  • micromachining
  • millipede
  • Si/HF
  • silicon electropolishing
Data inizio appello
11/07/2008
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
11/07/2048
Riassunto (Inglese)
Riassunto (Italiano)
Lo scopo di questo progetto è di verificare speriementalmente la selettività della dissoluzione anodica del silicio in soluzioni acide a base di HF.
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