Tesi etd-06192008-214554 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore
SURDO, SALVATORE
URN
etd-06192008-214554
Titolo
Surface micromachining del silicio mediante attacco elettrochimico
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Parole chiave
- silicon electropolishing
- Si/HF
- micromachining
- millipede
- MEMS
Data inizio appello
11/07/2008
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
11/07/2048
Riassunto
Lo scopo di questo progetto è di verificare speriementalmente la selettività della dissoluzione anodica del silicio in soluzioni acide a base di HF.
File
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