ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-06172007-181127

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-06172007-181127

Titolo

progetto e realizzazione di flussimetri e anemometri a singolo chip in tecnologia BCD6

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

anemometri
circuiti integrati
microsistemi
sensori termici

Data inizio appello

12/07/2007

Consultabilità

Non consultabile

Data di rilascio

12/07/2047

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

In questa tesi sono stati sviluppati dei sensori di portata per gas integrati su chip di silicio con possibilità di monitorare due flussi indipendenti sullo stesso chip grazie allo sviluppo di un package innovativo. I sensori di portata sono stati impiegati per realizzare un anemometro direzionale.

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