ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-06082006-191325

Tipo di tesi

Tesi di laurea specialistica

URN

etd-06082006-191325

Titolo

Sviluppo di processi tecnologici per la realizzazione di dispositivi nanoelettronici

Dipartimento

INGEGNERIA

Corso di studi

INGEGNERIA ELETTRONICA

Parole chiave

AlGaAs
annealing
fabbricazione
lift off
nanoelettronica
quantum point contact

Data inizio appello

12/07/2006

Consultabilità

Parziale

Data di rilascio

12/07/2046

Riassunto (Inglese)

Riassunto (Italiano)

Nel lavoro di tesi sono stati sviluppati processi per la realizzazione di dispositivi nanoelettronici basati su eterostrutture di AlGaAs\GaAs. Sono stati sviluppati attacchi chimici, deposizioni electron beam, tecniche di lift off e di annealing termico rapido. Sono state poi effettuate misure I-V sui campioni realizzati.

File

Nome file	Dimensione
Cap1.pdf	180.95 Kb
Cap2.pdf	271.10 Kb
Conclusioni.pdf	25.48 Kb
indice.pdf	28.10 Kb
Introduzione.pdf	89.80 Kb
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