• microbilancia
• sensori di DNA
• CMOS-compatibile

Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS proposti come biosensori di DNA. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target di DNA da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing per il rilascio dei risonatori (dispositivi di seconda generazione) e confronto con la tecnologia di fabbricazione delle microbilance di prima generazione.