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ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l’Università di Pisa

Tesi etd-05132009-185117


Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore
CASAFINA, DANIELA
URN
etd-05132009-185117
Titolo
Sviluppo di una tecnologia MEMS per la fabbricazione di biosensori risonanti
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
Relatore Nannini, Andrea
Relatore Pieri, Francesco
Relatore Diligenti, Alessandro
Parole chiave
  • CMOS-compatibile
  • microbilancia
  • sensori di DNA
Data inizio appello
05/06/2009
Consultabilità
Parziale
Data di rilascio
05/06/2049
Riassunto
Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS proposti come biosensori di DNA. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target di DNA da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing per il rilascio dei risonatori (dispositivi di seconda generazione) e confronto con la tecnologia di fabbricazione delle microbilance di prima generazione.
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