• sensibilità
• sensori di portata
• simulazioni

I sensori integrati di portata ricoprono un ruolo molto importante nel controllo dei processi industriali, in campo spaziale e nel campo dell’automotive; negli ultimi anni numerosi sforzi sono stati fatti per la progettazione e la caratterizzazione di questo tipo di sensori per migliorarne la performance. L’adozione di processi standard microelettronici e lo sviluppo delle tecnologie di micromachining ha portato numerosi vantaggi come ad esempio la diminuzione di potenza consumata e la riduzione dei costi dovuta alla possibilità di una produzione di massa. Per la misura del flusso esistono una grande varietà di principi fisici che possono essere implementati ma non tutti consentono l’integrazione del sensore. Particolarmente interessanti sono i sensori termici di flusso che possono essere integrati e risultano strutturalmente semplici, affidabili, con una buona sensibilità e relativamente robusti. Questo lavoro di tesi descrive il progetto ed il dimensionamento di sensori termici integrati di portata mediante simulazioni ad elementi finiti. Lo scopo è quello di caratterizzare l’uscita di un sensore termico integrato di flusso al variare della propria geometria e della geometria del canale in cui il chip del sensore stesso è posizionato. Verranno presentate, quindi, le problematiche principali che incontriamo quando dobbiamo progettare questo tipo di sensori. Il sensore termico integrato di flusso sarà caratterizzato mediante un simulatore agli elementi finiti commerciale, Femlab3.1; saranno presentate simulazioni al variare della geometria del sensore e del canale per comprendere l’influenza di ogni elemento sul segnale d’uscita. Infine sarà analizzato il problema della diminuzione della sensibilità dell’uscita del sensore quando quest’ultimo lavora a bassa pressione, dovuto alla miniaturizzazione del sensore stesso