ETD

• attacco elettrochimico
• dummy layer
• energy harvesting
• energy scavenging
• MEMS
• micromachining elettrochimico
• micromachining silicio
• microstrutture
• strutture free-standing
• strutture sospese

Il principale scopo di questo lavoro di tesi è quello di sviluppare una nuova metodologia di fabbricazione di microstrutture free-standing in silicio cristallino utilizzando una tecnologia a basso costo, il micromachining elettrochimico, rispetto alle tecniche oggi impiegate per la fabbricazione di strutture MEMS. Dopo aver esaminato i vantaggi e gli svantaggi delle moderne tecniche di fabbricazione e le principali applicazioni dei MEMS, rispettivamente nel primo e nel secondo capitolo, nel terzo capitolo verrà analizzata in dettaglio la tecnica del micromachining elettrochimico del silicio (attacco da fase liquida del silicio in soluzione a base di acido fluoridrico). Nel quarto capitolo, infine, dopo aver presentato la metodologia di fabbricazione di microstrutture free-standing in silicio cristallino mediante micromachining elettrochimico, verranno illustrati in dettaglio il processo di fabbricazione e i risultati sperimentali ottenuti.