• MEMS
• processo BCD6s
• flussimetri termici
• driver dei riscaldatori

Il lavoro svolto in questa tesi si inserisce in un progetto di sviluppo di un’interfaccia di lettura e pilotaggio di un sensore termico di portata integrato. All’interno di questo elaborato sono stati sviluppati blocchi fondamentali per la realizzazione dell’interfaccia integrata che sarà posta sullo stesso chip dei sensori.
L’obiettivo che è stato ricercato è stato quello di realizzare un circuito compatto, caratterizzato da un’amplificazione ultra low offset-noise con filtraggio passa basso incorporato. È stata prevista, inoltre, la possibilità di collegare all’interfaccia uno dei sensori integrati sul chip o un sensore esterno e il pilotaggio dei riscaldatori attraverso un apposito driver per le correnti. In questo elaborato si è puntata l’attenzione proprio sulla realizzazione del driver, per il controllo della corrente nei riscaldatori del sensore. I requisiti sono stati un basso rumore differenziale e la possibilità di cancellare la tensione di offset introdotta dall’inevitabile mismatch delle strutture.

Nel capitolo 1 verranno descritte le principali architetture e il funzionamento dei tradizionali sensori di portata macroscopici, per poi passare alla descrizione delle tipologie di flussimetri integrati presenti in letteratura e in commercio.
Nel capitolo 2 verrà illustrata una panoramica delle precedenti versioni del dispositivo, per illustrarne le caratteristiche, ma soprattutto i limiti che hanno costituito la spinta di partenza per soluzioni più performanti e per nuove architetture.
Nel capitolo 3 verrà descritto come è stato progettato il driver per produrre le correnti dei riscaldatori, alla luce di quelli che sono stati i limiti della precedente versione.
Nel capitolo 4 saranno illustrati i risultati relativi alle simulazioni e i layout dei blocchi realizzati.