• Analisi di sensibilità
• Ansys
• Design of experiment
• pompa turbomolecolare
• vuoto

Nel presente lavoro di tesi si rivolge l’interesse allo studio della simulazione termica conduttiva della sospensione della pompa turbomolecolare Agilent TwisTorr 304FS® e alla mappatura dei fattori che maggiormente ne influenzano la temperatura. E’ stato riscontrato che il mantenimento delle condizioni di temperatura ottimali della pompa aumenta la durata della vita di quest’ultima, pertanto l’obiettivo di questa tesi è capire quali sono i fattori che agiscono in questa direzione.
Dopo la descrizione dei principi di base del vuoto, si inquadrano le pompe turbomolecolari all’interno del panorama dei sistemi per la produzione di vuoto. Si approfondisce quindi la descrizione della pompa e di tutti i suoi componenti, in particolare di quelli oggetto del lavoro di tesi. La simulazione termica conduttiva del modello è stata realizzata in Ansys Workbench. Si è analizzata la variazione di temperatura dei componenti tramite una analisi di sensibilità prima e un Design Of Experiment in seguito. Attraverso tali metodologie di analisi, sono stati individuati i fattori che determinano maggiormente la variazione di temperatura nella pompa e le correlazioni tra essi.