• flussimetri termici
• MEMS
• microflown
• micromachinig

Sensori termici possono essere utilizzati sia per la misura diretta di quantità termiche come calore e temperatura, e sia come trasduttori indiretti per convertire attraverso un effetto termico quantità, quali pressione, velocità di fluidi, velocità di particelle acustiche, in un segnale elettrico. La loro integrazione su un chip di silicio è diventata realizzabile con lo sviluppo di tecniche di micromachining che hanno permesso la fabbricazione di strutture micrometriche termicamente isolati dal substrato. La miniaturizzazione in scala micrometrica è un punto di svolta per ottenere dispositivi che garantiscono vantaggi significativi in termini di consumo di potenza, velocità di risposta e limiti di risoluzione.
Questo lavoro di tesi riguarda lo sviluppo del post-processing necessario per la fabbricazione di sensori MEMS, in particolare flussimetri termici e sensori di velocità delle particelle acustiche (microflown) presenti sul chip progettato e fabbricato secondo il processo BCD6s di STMicroelectronics. Il chip comprende oltre i sensori anche un'interfaccia elettronica configurabile in modo digitale che incorpora funzioni volte a migliorare la precisione e il limite di rilevazione del sensore, attraverso la compensazione dell’offset intrinseco dei sensori e la riduzione della sensibilità alla pressione.
I test effettuati sui sensori, microflown e flussimetri, ottenuti al completamento del post-processing hanno mostrato risultati soddisfacenti.
E’ stata inoltre eseguita una caratterizzazione dettagliata dell'interfaccia elettronica, ottenendo un completo accordo con le specifiche iniziali.