Thesis etd-06292011-100007 |
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Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
CORTESE, MARIO
URN
etd-06292011-100007
Thesis title
Sviluppo di una tecnologia basata su attacco in plasma per la realizzazione di biosensori MEMS risonanti
Department
INGEGNERIA
Course of study
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
relatore Prof. Nannini, Andrea
relatore Ing. Pieri, Francesco
relatore Ing. Pieri, Francesco
Keywords
- bilancia
- MEMS
- RIE
- risonante
Graduation session start date
22/07/2011
Availability
Partial
Release date
22/07/2051
Summary
Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS, proposti come biosensori. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing (attacco DRY) per il rilascio dei risonatori e confronto con la tecnologia di fabbricazione precedente (attacco WET).
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| frontespizio.pdf | 75.92 Kb |
1 file non consultabili su richiesta dell’autore. |
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