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Tesi etd-06292011-100007


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
CORTESE, MARIO
URN
etd-06292011-100007
Title
Sviluppo di una tecnologia basata su attacco in plasma per la realizzazione di biosensori MEMS risonanti
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
relatore Prof. Nannini, Andrea
relatore Ing. Pieri, Francesco
Parole chiave
  • bilancia
  • risonante
  • RIE
  • MEMS
Data inizio appello
22/07/2011;
Consultabilità
parziale
Data di rilascio
22/07/2051
Riassunto analitico
Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS, proposti come biosensori. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing (attacco DRY) per il rilascio dei risonatori e confronto con la tecnologia di fabbricazione precedente (attacco WET).
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