ETD system

Electronic theses and dissertations repository

 

Tesi etd-06222009-113543


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
CAPONIGRI, IRENE
email address
irenecaponigri@libero.it
URN
etd-06222009-113543
Title
Silanizzazione selettiva mediante litografia UV di Silicio-Germanio policristallino per lo sviluppo di biosensori MEMS
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
Relatore Prof. Nannini, Andrea
Relatore Prof. Pieri, Francesco
Relatore Dott. Lenci, Silvia
Parole chiave
  • silanizzazione
  • funzionalizzazione
  • silani
  • Silicio-Germanio policristallino
  • biosensori
  • BioMEMS
  • MEMS
Data inizio appello
10/07/2009;
Consultabilità
parziale
Data di rilascio
10/07/2049
Riassunto analitico
Questo lavoro di tesi si occupa dello studio sulla possibilità di realizzare biosensori per applicazioni MEMS. Esso si occupa dello studio del comportamento del silicio-germanio policristallino nei confronti della silanizzazione e della messa a punto di un processo per l'immobilizzazione selettiva di biomolecole.
File