Tesi etd-04092021-140801 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea magistrale
Autore
PARENTI, FEDERICO
URN
etd-04092021-140801
Titolo
Fabbricazione e caratterizzazione di dispositivi elettronici stampabili a nanofili di silicio
Dipartimento
INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Prof. Pennelli, Giovanni
relatore Prof. Fiori, Gianluca
relatore Ing. Dimaggio, Elisabetta
relatore Prof. Fiori, Gianluca
relatore Ing. Dimaggio, Elisabetta
Parole chiave
- array
- attacco
- bottom-up
- carta
- casuale
- deposition
- deposizione
- doping
- drogaggio
- economic
- economica
- electronics
- elettronica
- etching
- fabbricazione
- fabrication
- fet
- filtration
- filtrazione
- flessibile
- flexible
- inchiostro
- ink
- low-cost
- mace
- nanoelectronics
- nanoelettronica
- nanofili
- nanonets
- nanoreti
- nanostructures
- nanostrutture
- nanowires
- ossido
- oxide
- paper
- printable
- printer
- random
- Schottky
- semiconductors
- semiconduttori
- silicio
- silicon
- sonication
- sonicazione
- sospensione
- stampabile
- stampante
- substrate
- substrato
- suspension
- top-down
- transistor
- vacuum
- vuoto
Data inizio appello
30/04/2021
Consultabilità
Completa
Riassunto
I circuiti elettronici moderni si basano sul concetto di multifunzionalità: devono contemporaneamente soddisfare requisiti di portabilità, ecocompatibilità, acquisizione ed elaborazione di dati, comunicazione, e autonomia energetica. In questo ambito si sviluppa la ricerca di tecnologie e materiali volti alla realizzazione di dispositivi performanti su larga scala con costi ridotti, fruibili ad un numero crescente di mercati; le nanostrutture ne sono al centro, poiché rispondono alle esigenze di multifunzionalità, spesso impossibili da ottenere con i materiali bulk, e possono essere prodotte ed elaborate con tecniche low-cost.
In questo lavoro, partendo dallo stato dell'arte della fabbricazione top-down di nanofili di silicio, si indagano alcuni metodi di deposizione delle nanostrutture di tipo solution-based - riferimento nell'elettronica flessibile stampabile - al fine di realizzare transistori ad effetto di campo (FET) basati su nanoreti, su substrati sia rigidi (wafer di silicio) che flessibili (carta). Si mostra l'intero flusso di processo realizzato in laboratorio, dalla fabbricazione di array di nanofili verticali ad alta densità, alla caratterizzazione elettrica dei dispositivi, passando per la produzione di dispersioni ed inchiostri stampabili di nanostrutture, e per l'assemblaggio delle nanoreti sui substrati, mediante filtrazione a vuoto e stampa a getto d'inchiostro. Il lavoro fa dell'integrazione economica delle nanoreti di silicio la sua ragion d'essere.
In questo lavoro, partendo dallo stato dell'arte della fabbricazione top-down di nanofili di silicio, si indagano alcuni metodi di deposizione delle nanostrutture di tipo solution-based - riferimento nell'elettronica flessibile stampabile - al fine di realizzare transistori ad effetto di campo (FET) basati su nanoreti, su substrati sia rigidi (wafer di silicio) che flessibili (carta). Si mostra l'intero flusso di processo realizzato in laboratorio, dalla fabbricazione di array di nanofili verticali ad alta densità, alla caratterizzazione elettrica dei dispositivi, passando per la produzione di dispersioni ed inchiostri stampabili di nanostrutture, e per l'assemblaggio delle nanoreti sui substrati, mediante filtrazione a vuoto e stampa a getto d'inchiostro. Il lavoro fa dell'integrazione economica delle nanoreti di silicio la sua ragion d'essere.
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