Thesis etd-02042005-173927 |
Link copiato negli appunti
Thesis type
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Author
Specos, Paolo
URN
etd-02042005-173927
Thesis title
REALIZZAZIONE DI TRENCH AD ELEVATA PROFONDITA' IN SILICIO
Department
INGEGNERIA
Course of study
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
relatore Nannini, Andrea
relatore Diligenti, Alessandro
relatore Barillaro, Giuseppe
relatore Diligenti, Alessandro
relatore Barillaro, Giuseppe
Keywords
- etching elettrochimico
- micromachining
- silicio macroporoso
Graduation session start date
01/03/2005
Availability
Partial
Release date
01/03/2045
Summary
In questo lavoro di tesi è stato studiato l’attacco elettrochimico del Si in soluzioni acquose a base di HF allo scopo di fabbricare matrici di macropori ad elevata profondità in substrati di tipo n ed orientazione cristallografica <100>, i più comuni e meno costosi nell’industria microelettronica. A questo proposito è stato dapprima criticamente analizzato il sistema Si-HF in modo da comprendere ed evidenziare i parametri che lo caratterizzano. Sono stati quindi studiati gli effetti che sul processo di formazione dei macropori hanno la temperatura e gli additivi in soluzione, quali etanolo e TRITONIX-100. Sono state dunque fabbricate delle matrici di macropori regolari con diametro dei pori di 2 µm e profondità massima di 200 µm.
Inoltre, attraverso la fabbricazione di un array di spirali circolari, è stato sperimentalmente dimostrato che l’etching anodico del Si in HF è indipendente dall’orientazione dei piani cristallini ed è l’unico che consente di realizzare microstrutture con geometria circolare e pareti verticali su substrati <100> nell’ambito dei tradizionali attacchi anisotropi in fase liquida.
Inoltre, attraverso la fabbricazione di un array di spirali circolari, è stato sperimentalmente dimostrato che l’etching anodico del Si in HF è indipendente dall’orientazione dei piani cristallini ed è l’unico che consente di realizzare microstrutture con geometria circolare e pareti verticali su substrati <100> nell’ambito dei tradizionali attacchi anisotropi in fase liquida.
File
Nome file | Dimensione |
---|---|
Bibliografia.pdf | 24.44 Kb |
Conclusioni.pdf | 17.74 Kb |
Indice.pdf | 18.87 Kb |
Introduzione.pdf | 21.11 Kb |
3 file non consultabili su richiesta dell’autore. |