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Tesi etd-01232007-173506


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
Calò, Angela
email address
angycalo@libero.it
URN
etd-01232007-173506
Title
Fabbricazione di microstrutture free-standing in silicio cristallino mediante attacco elettrochimico
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
Relatore Prof. Nannini, Andrea
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Parole chiave
  • strutture free-standing
  • strutture sospese
  • attacco elettrochimico
  • energy scavenging
  • MEMS
  • micromachining elettrochimico
  • dummy layer
  • microstrutture
  • micromachining silicio
  • energy harvesting
Data inizio appello
01/03/2007;
Consultabilità
parziale
Data di rilascio
01/03/2047
Riassunto analitico
Il principale scopo di questo lavoro di tesi è quello di sviluppare una nuova metodologia di fabbricazione di microstrutture free-standing in silicio cristallino utilizzando una tecnologia a basso costo, il micromachining elettrochimico, rispetto alle tecniche oggi impiegate per la fabbricazione di strutture MEMS. Dopo aver esaminato i vantaggi e gli svantaggi delle moderne tecniche di fabbricazione e le principali applicazioni dei MEMS, rispettivamente nel primo e nel secondo capitolo, nel terzo capitolo verrà analizzata in dettaglio la tecnica del micromachining elettrochimico del silicio (attacco da fase liquida del silicio in soluzione a base di acido fluoridrico). Nel quarto capitolo, infine, dopo aver presentato la metodologia di fabbricazione di microstrutture free-standing in silicio cristallino mediante micromachining elettrochimico, verranno illustrati in dettaglio il processo di fabbricazione e i risultati sperimentali ottenuti.
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