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Tesi etd-10082003-102915


Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore
Zurlo, Henri
Indirizzo email
henzu@libero.it
URN
etd-10082003-102915
Titolo
CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
relatore Andrea Nannini
Parole chiave
  • silicio
  • macropori
  • radiofrequenza
Data inizio appello
2003-10-23
Disponibilità
completa
Riassunto analitico
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
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