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Tesi etd-11222004-163419


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
Biagini, Fabio
email address
ldipira@tin.it
URN
etd-11222004-163419
Title
Sviluppo di processi ad alta risoluzione per litografia a fascio elettronico
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
relatore Ing. Pennelli, Giovanni
Parole chiave
  • ebl
Data inizio appello
13/12/2004;
Consultabilità
completa
Riassunto analitico
In questo lavoro sono presentati processi per litografia a fascio elettronico ad alta risoluzione
File