Thesis etd-11132007-194910 |
Link copiato negli appunti
Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
RUSSINO, VINCENZO
URN
etd-11132007-194910
Thesis title
Progetto e tecnologia di fabbricazione di un dispositivo MEMS magnetico per "energy scavenging"
Department
INGEGNERIA
Course of study
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
Relatore Nannini, Andrea
Relatore Pieri, Francesco
Relatore Pieri, Francesco
Keywords
- energy harvesting
- magnete permanente
- post-processing
- scavenger
- trasduzione magnetica
Graduation session start date
14/12/2007
Availability
Full
Summary
Questo lavoro rigurda il progetto di un dispositivo MEMS magnetico in grado di recuperare l'energia dalle vibrazioni presenti nell'ambiente circostante.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| 01_Frontespizio.pdf | 73.25 Kb |
| 02_Indice.pdf | 36.55 Kb |
| 03_Introduzione.pdf | 117.99 Kb |
| 04_Capitolo1.pdf | 777.42 Kb |
| 05_Capitolo2.pdf | 673.13 Kb |
| 06_Capitolo3.pdf | 83.05 Mb |
| 07_Conclusioni.pdf | 64.00 Kb |
| 08_Bibliografia.pdf | 71.21 Kb |
Contatta l’autore |
|