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Tesi etd-11132007-194910


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
RUSSINO, VINCENZO
URN
etd-11132007-194910
Title
Progetto e tecnologia di fabbricazione di un dispositivo MEMS magnetico per "energy scavenging"
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
Relatore Nannini, Andrea
Relatore Pieri, Francesco
Parole chiave
  • magnete permanente
  • scavenger
  • post-processing
  • trasduzione magnetica
  • energy harvesting
Data inizio appello
14/12/2007;
Consultabilità
Completa
Riassunto analitico
Questo lavoro rigurda il progetto di un dispositivo MEMS magnetico in grado di recuperare l'energia dalle vibrazioni presenti nell'ambiente circostante.
Inoltre é stata progettata anche la tecnologia di fabbricazione del dispositivo che si avvale di un nuovo metodo per liberare membrane di grandi dimensioni tramite attacco in TMAH bufferizzato in tempi brevi.
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