ETD

Digital archive of theses discussed at the University of Pisa

 

Thesis etd-10082003-102915


Thesis type
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Author
Zurlo, Henri
email address
henzu@libero.it
URN
etd-10082003-102915
Thesis title
CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI
Department
INGEGNERIA
Course of study
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
relatore Nannini, Andrea
Keywords
  • silicio
  • macropori
  • radiofrequenza
Graduation session start date
23/10/2003
Availability
Full
Summary
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
File