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Tesi etd-09152006-095236


Thesis type
Tesi di laurea specialistica
Author
Parisi, Mauro
URN
etd-09152006-095236
Title
Un modello per il micromachining elettrochimico del silicio: teoria e dati sperimentali.
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Ing. Pieri, Francesco
Parole chiave
  • DRIE
  • silicio
  • poroso
  • micromachining
  • macropori
Data inizio appello
19/10/2006;
Consultabilità
Parziale
Data di rilascio
19/10/2046
Riassunto analitico
Un confronto fra DRIE e micromachining elettrochimico mette in evidenza i motivi del crescente interesse verso quest'ultimo. Viene proposto un modello matematico e la sua implementazione in MatLab per la crescita di macropori su silicio n in presenza di un flusso laterale di perdita di HF. Un fitting con i dati sperimentali mette in evidenza pregi e limiti del modello elaborato.
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