Thesis etd-06192008-214554 |
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Thesis type
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Author
SURDO, SALVATORE
URN
etd-06192008-214554
Thesis title
Surface micromachining del silicio mediante attacco elettrochimico
Department
INGEGNERIA
Course of study
INGEGNERIA ELETTRONICA
Supervisors
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Keywords
- MEMS
- micromachining
- millipede
- Si/HF
- silicon electropolishing
Graduation session start date
11/07/2008
Availability
Withheld
Release date
11/07/2048
Summary
Lo scopo di questo progetto è di verificare speriementalmente la selettività della dissoluzione anodica del silicio in soluzioni acide a base di HF.
File
| Nome file | Dimensione |
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The thesis is not available. |
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