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Tesi etd-06192008-214554


Thesis type
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Author
SURDO, SALVATORE
URN
etd-06192008-214554
Title
Surface micromachining del silicio mediante attacco elettrochimico
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
Relatore Ing. Barillaro, Giuseppe
Relatore Prof. Diligenti, Alessandro
Parole chiave
  • silicon electropolishing
  • Si/HF
  • micromachining
  • millipede
  • MEMS
Data inizio appello
11/07/2008;
Consultabilità
parziale
Data di rilascio
11/07/2048
Riassunto analitico
Lo scopo di questo progetto è di verificare speriementalmente la selettività della dissoluzione anodica del silicio in soluzioni acide a base di HF.
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