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Tesi etd-05132009-185117


Thesis type
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Author
CASAFINA, DANIELA
URN
etd-05132009-185117
Title
Sviluppo di una tecnologia MEMS per la fabbricazione di biosensori risonanti
Struttura
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
Relatore Nannini, Andrea
Relatore Pieri, Francesco
Relatore Diligenti, Alessandro
Parole chiave
  • microbilancia
  • sensori di DNA
  • CMOS-compatibile
Data inizio appello
05/06/2009;
Consultabilità
parziale
Data di rilascio
05/06/2049
Riassunto analitico
Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS proposti come biosensori di DNA. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target di DNA da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing per il rilascio dei risonatori (dispositivi di seconda generazione) e confronto con la tecnologia di fabbricazione delle microbilance di prima generazione.
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