| Tipo di tesi |
Tesi di laurea vecchio ordinamento |
| Autore |
Zurlo, Henri
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| Indirizzo email |
henzu@libero.it |
| URN |
etd-10082003-102915 |
| Titolo |
CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI |
| Struttura |
INGEGNERIA, FACOLTA' |
| Corso di studi |
INGEGNERIA ELETTRONICA |
| Commissione |
| Nome Commissario |
Qualifica |
| Andrea Nannini |
relatore |
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| Parole chiave |
- silicio
- macropori
- radiofrequenza
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| Data inizio appello |
2003-10-23 |
| Disponibilità |
unrestricted |
Riassunto analitico
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
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