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Tesi etd-10082003-102915
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Tipo di tesi Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore Zurlo, Henri
Indirizzo email henzu@libero.it
URN etd-10082003-102915
Titolo CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI
Struttura INGEGNERIA, FACOLTA'
Corso di studi INGEGNERIA ELETTRONICA
Commissione
Nome Commissario Qualifica
Andrea Nannini relatore
Parole chiave
  • silicio
  • macropori
  • radiofrequenza
Data inizio appello 2003-10-23
Disponibilità unrestricted
Riassunto analitico
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
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