Tesi etd-10082003-102915 |
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Tipo di tesi
Tesi di laurea vecchio ordinamento
Autore
Zurlo, Henri
Indirizzo email
henzu@libero.it
URN
etd-10082003-102915
Titolo
CARATTERIZZAZIONE DEL SILICIO MACROPOROSO COME SUBSTRATO PER COMPONENTI A RADIOFREQUENZA INTEGRATI
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Nannini, Andrea
Parole chiave
- macropori
- radiofrequenza
- silicio
Data inizio appello
23/10/2003
Consultabilità
Completa
Riassunto
Si tenta di risolvere i problemi dell'integrazione di componenti passivi su Silicio studiando un particolare substrato di macropori. Questa struttura risulta essere stabile meccanicamente e puo' essere molto profonda garantendo cosi'una maggiore riduzione delle perdite, inoltre i processi per realizzare il Silicio Macroporoso sono tutti compatibili con le tecnologie standard (CMOS e BiCMOS).
File
| Nome file | Dimensione |
|---|---|
| 01cap.pdf | 502.47 Kb |
| 02cap.pdf | 434.30 Kb |
| 03cap.pdf | 653.88 Kb |
| 04cap.pdf | 3.51 Mb |
| 05cap.pdf | 2.48 Mb |
| 06cap.pdf | 1.52 Mb |
| Conclusioni.pdf | 75.82 Kb |
| indice.pdf | 58.75 Kb |
| Introduzione.pdf | 80.23 Kb |
| riferimenti.pdf | 114.82 Kb |
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