ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l'Università di Pisa

Tesi etd-09102013-085310


Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
DE BENE, ILARIA
URN
etd-09102013-085310
Titolo
Realizzazione di un sensore di portata e di pressione su singolo chip
Dipartimento
INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Prof. Bruschi, Paolo
relatore Ing. Piotto, Massimo
Parole chiave
  • BCD6s
  • offset
  • post-processing
  • MEMS
  • flussimetri
Data inizio appello
27/09/2013
Consultabilità
Completa
Riassunto
In questo lavoro di tesi viene presentato un sensore di flusso “intelligente”: insieme alla strutture di sensing, costituite da sensori di flusso termici differenziali a doppio riscaldatore con due sonde di temperatura, una a monte e una a valle, è integrata sullo stesso chip un’interfaccia elettronica che realizza, contemporaneamente, la compensazione degli effetti sia dell’offset che della pressione,la cui efficacia è stata, poi, verificata ponendo il dispositivo in condizioni operative reali;in particolare, le misure sono state effettuate per flussi di azoto a temperatura ambiente.
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