ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l'Università di Pisa

Tesi etd-07022013-104250


Tipo di tesi
Tesi di laurea magistrale
Autore
INTASCHI, LUCA
URN
etd-07022013-104250
Titolo
SVILUPPO DI MICROSISTEMI SU SINGOLO CHIP PER MISURE DI PORTATA DI LIQUIDI
Dipartimento
INGEGNERIA DELL'INFORMAZIONE
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Bruschi, Paolo
relatore Piotto, Massimo
Parole chiave
  • liquidi
  • microsistemi
Data inizio appello
19/07/2013
Consultabilità
Non consultabile
Data di rilascio
19/07/2053
Riassunto
Argomento di questo lavoro di tesi sarà lo sviluppo di microsistemi su un unico chip per la misura di portata di liquidi, realizzati con sensori di flusso intelligenti, basati sul principio termico. La fabbricazione di tali dispositivi avviene attraverso un processo CMOS, unito ad una procedura post-processing.
Lo scopo significativo di questo lavoro di tesi sarà quello di analizzare il loro comportamento sia di nuovo con i gas, sia soprattutto con sostanze liquide e confrontare i risultati ottenuti.
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