| Tipo di tesi |
Tesi di laurea specialistica |
| Autore |
CORTESE, MARIO
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| URN |
etd-06292011-100007 |
| Titolo |
Sviluppo di una tecnologia basata su attacco in plasma per la realizzazione di biosensori MEMS risonanti |
| Settore scientifico disciplinare |
INGEGNERIA, FACOLTA' |
| Corso di studi |
INGEGNERIA ELETTRONICA |
| Commissione |
| Nome Commissario |
Qualifica |
| Prof. Andrea Nannini |
relatore |
| Ing. Francesco Pieri |
relatore |
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| Parole chiave |
- bilancia
- risonante
- RIE
- MEMS
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| Data inizio appello |
2011-07-22 |
| Disponibilità |
mixed |
| Data di rilascio | 2051-07-22 |
|---|
Riassunto analitico
Il presente lavoro di tesi ha come obiettivo la fabbricazione di dispositivi MEMS, quali microbilance risonanti in modalità torsionale, compatibili con la tecnologia CMOS, proposti come biosensori. Il principio di funzionamento di tali dispositivi si basa sulla variazione della frequenza di risonanza in seguito all’ immobilizzazione della molecole target da rivelare, che può essere agevolmente ricavata dalla misura della tensione indotta ai capi delle spire di sensing. Il lavoro svolto consiste nella messa a punto dei passi di post processing (attacco DRY) per il rilascio dei risonatori e confronto con la tecnologia di fabbricazione precedente (attacco WET).
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| File |
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