• sensore
• gas
• silicio poroso

In questo lavoro di tesi è stato fabbricato e caratterizzato un sensore di gas di silicio poroso.

Il sensore è costituito da pad interdigitati di alluminio che vengono deposti su uno strato di silicio di tipo p, ottenuto per impiantazione su un substrato di tipo n. Lo strato di silicio poroso si forma nella zona tra i due pad di uno stesso dispositivo, in seguito ad attacco elettrochimico in HF.

Per quanto riguarda la caratterizzazione, sono state valutate le risposte I-V e I-t del sensore in presenza di vapori organici di diversi alcoli e sono state riscontrate ottime prestazioni in termini di sensibilità e sopratutto per quanto riguarda i tempi di risposta.

Infine, sulla base delle numerose prove effettuate, è stato illustrato anche il possibile principio di funzionamento del sensore.