ETD

Archivio digitale delle tesi discusse presso l'Università di Pisa

Tesi etd-06082006-191325


Tipo di tesi
Tesi di laurea specialistica
Autore
Totaro, Massimo
Indirizzo email
maxcv@libero.it
URN
etd-06082006-191325
Titolo
Sviluppo di processi tecnologici per la realizzazione di dispositivi nanoelettronici
Dipartimento
INGEGNERIA
Corso di studi
INGEGNERIA ELETTRONICA
Relatori
relatore Ing. Piotto, Massimo
relatore Prof. Macucci, Massimo
Parole chiave
  • quantum point contact
  • fabbricazione
  • lift off
  • nanoelettronica
  • AlGaAs
  • annealing
Data inizio appello
12/07/2006
Consultabilità
Parziale
Data di rilascio
12/07/2046
Riassunto
Nel lavoro di tesi sono stati sviluppati processi per la realizzazione di dispositivi nanoelettronici basati su eterostrutture di AlGaAs\GaAs. Sono stati sviluppati attacchi chimici, deposizioni electron beam, tecniche di lift off e di annealing termico rapido. Sono state poi effettuate misure I-V sui campioni realizzati.
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