• micromachining elettrochimico
• simulazione autovalori
• progettazione accelerometri
• accelerometro
• cristalli fotonici

In questo lavoro di tesi si è discussa la teoria alla base degli accelerometri, quella dietro il micromachining elettrochimico ed i cristalli fotonici.
Si sono progettati e simulati due accelerometri di tipo ottico, dimensionandoli sotto l'aspetto meccanico e ottico.
Si è proceduto al disegno delle maschere ed alla programmazione del micromachining elettrochimico, passando infine alla sua realizzazione.
I test preliminari relativi alla fabbricazione hanno fornito dei risultati promettenti ma non conclusivi.
Si è però dimostrato come questo sia possibile con un affinamento tecnico del setup ed un'ottimizzazione dei parametri del micromachining.
Le azioni da intraprendere nel prossimo futuro consistono in un proseguo dell'attività sperimentale sino all'individuazione di parametri ottimali per la fabbricazione.